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沸石转轮+RTO

文章来源:本站   发布时间:2019-01-02   点击数:35

 电子工业是VOCs排放的主要行业之一,电子工业废气VOCs排放种类多,组分复杂。一般来说,废气排放中风量较大,VOCs浓度较低。半导体工艺过程中有机废气具有排放量大(通常大于11000m3/h)和浓度低(通常小于25ppm)的特点。在产品制造过程中主要VOCs排放为异丙醇、丙酮、甲苯、二甲苯、醋酸丁酯、乙酸乙酯、甲基乙基酮等。

  针对电子行业的废气具有风量大、浓度低、种类繁多等显著特点,采用废气过滤装置+沸石转轮浓缩+RTO系统对VOCs进行治理。废气过滤装置采用四级过滤系统,能较完全地去除废气中0.5um以上的颗粒物,净化效率达到99%。大风量、低浓度的有机废气去除颗粒物后通过沸石转轮浓缩成小风量、高浓度气流,再将浓缩后的高浓度有机废气引入RTO进行高温氧化处理。其主要优点是废气处理效率达到99%以上、热回收效率达到95%以上;进入RTO前加入沸石转轮浓缩,使风量降低,浓度增高,减小RTO的配置参数。


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